|
Дата: 09.07.2024 г. - Цена: договорная Установка имеет цилиндрическую камеру, изготовленную из нержавеющей стали диаметром 320 мм, высотой 360 мм.
Спереди камеры на шарнире установлена круглая дверь, с проходным диаметром 255 мм. Дверь соединяется вакуумноплотно с камерой при помощи эластичного уплотнения. Для обеспечения визуального наблюдения за процессом напыления, на двери установлено окно из боросиликатного стекла на фланце ISO160.
На верхней поверхности камеры расположен фланец для крепления кварцевой колбы, предназначенной для ввода индуцируемой плазмы в область осаждения.
Слева и справа камеры под углом ___ к оси камеры расположены патрубки, направленные на центр подложки, предназначенные для подключения диагностического оборудования. Также слева и справа камеры расположены патрубки для ввода прекурсоров в камеру-реактор.
Сзади камеры, на фланце ISO130, установлен тройник KF40, а также фланец KF30 для подключения соответственно.
На нижней поверхности камеры установлен тройник ISO100, через который с одной стороны вводится ТЭН для нагрева подложкодержателя, а с другой подключается откачка вакуумной камеры.
Внутри камеры установлена система нагрева подложки, камера-реактор, а также система защитных экранов.Производитель: Собственное производство
|
