|
Дата: 14.07.2024 г. - Цена: договорная Для отработки технологии магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы предлагаем Вам настольную вакуумную установку VSE-PVD-DESK-PRO
Отличительные особенности установки:
* Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;
* Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий;
* Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;
* Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;
* Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.
* Установка предназначена для:
* Отработки технологий нанесения покрытий;
* Проведения научных исследований в областях материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств и др.
* Оптимальна для целей и задач учебного процесса ВУЗов
Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий за счёт автоматизации управления вакуумной системой и процесса напыления. Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.
Установка предусматривает возможность нанесения различных типов металлов и диэлектриков как на твёрдые, так и на дисперсные образцы. Толщина покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон.
Специально разработанная конструкция вакуумной камеры для оптимизации процесса в малом объёме. Выполнена из нержавеющей стали, обеспечивает распыление сверху вниз. Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий
Съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух портов. Специальный фланец для установки датчика толщины покрытий.
* минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона. Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца.
* мощность разряда, до 1,5 кВт
* однородность наносимых покрытий: ±10%
* диапазон плавного регулирования выходной средней мощности: от 0,1 до 3 кВт
* подложкодержатель с шаговым двигателем и оптическими датчиками обеспечивает точность положения до 0,5 мм. Количество подложек диаметром 90 мм – 4 шт.
Ввод вращения в вакуум с дифференциальной откачкой.
* подача газа осуществляется непосредственно через магнетрон (опция)
* предусмотрена возможность измерения толщины покрытия (опция)
* устройство нагрева подложкодержателя (опция)
* передача данных и управление через ПК (опция)
* комплектующие от ведущих мировых производителей
Система управления - полуавтоматическая. Реализована на программируемом контроллере с управлением откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем, технологическими источниками питания. Наличие системы блокировок по потоку воды и по допустимому вакууму. Наличие цветного сенсорного экрана.Производитель: Собственное производство
Способ установки: Настольный
Длина: 105 см
Ширина: 70 см
Высота: 67 см
Вес: 87 кг
|
