Установка магнетронного напыления металлов и диэлектриков, Новосибирск

Дата: 15.07.2024 г. - Цена: договорная

Мелкосерийное производство VSE-PVD-100 - Вакуумных установок магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы развивается в нашей компании с 2010г.

Установка предназначена для многослойного напыления металлов и диэлектриков на твёрдые образцы.

Это оптимальная конфигурация вакуумной системы для решения множества исследовательских и производственных задач.
Данная установка успешно используется для серийного выпуска высокотехнологичной продукции.
D-образная камера с большой дверью даёт возможность размещения не менее 10 подложек диаметром 50 мм или 6 подложек диаметром 100 мм. Рабочий цикл при одностороннем напылении составляет 2-3 часа.
Специально разработанный подложкодержатель легко снимается вручную и может разместиться на столе для удобства загрузки.
Оснащён шаговым двигателем и возможностью регулировки по высоте. Точность позиционирования (менее 1 мм) обеспечивается оптическими датчиками положения. Предусмотрен встроенный нагрев подложек для очистки поверхности, улучшения адгезии, выдерживания стехиометрии при заданной температуре.

Принцип действия
Конструкция установки предусматривает два магнетрона постоянного тока для металлов (с возможностью работы в импульсном режиме), один ВЧ магнетрон для диэлектрика. Магнетроны располагаются в нижней части вакуумной камеры под подложкодержателем, могут регулироваться по высоте, комплектуются пневматическими заслонками. Подача газа осуществляется отдельно на каждом магнетроне через газовое кольцо. Для защиты от перепыления с соседнего магнетрона предусмотрен съёмный экран.
Полная автоматизация с сохранением и воспроизведением последовательности действий технологических процессов.

Дополнительные опции: датчик толщины покрытий (кварцевый резонатор), квадрупольный масс-спектрометр, прецизионный цифровой регулятор расхода газа, мощный источник бесперебойного питания, позволяющий завершить техпроцесс в случае отключения электропитания.

Отличительные возможности установки:

* Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;
* Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;
* Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;
* Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами;
* Высокая адгезия покрытия к подложке;
* Подложкодержатель легко снимается для удобства загрузки образцов;
* Встроенное устройство нагрева подложек;
* Два магнетрона постоянного тока для осаждения металлов (с возможностью работы в импульсном режиме), один ВЧ магнетрон - для диэлектриков;
* Полная автоматизация технологического процесса;
* Подача газа осуществляется отдельно на каждом магнетроне через газовое кольцо.
Установка предназначена для:

* Многослойного напыления металлов и диэлектриков на твёрдые и дисперсные образцы за один цикл;
* Отработки технологий в области материаловедения;
* Серийного выпуска высокотехнологичной продукции.
Оптимальна для решения исследовательских и производственных задач.

Основные характеристики:

* Скорость осаждения зависит от типа напыляемого материала и может достигать 7,5 Å/сек;
* Однородность наносимых покрытий ±10 %;
* Точность позиционирования подложки до 1 мм;
* Одновременная загрузка 15-ти подложек d=33 мм или 10-ти подложек d=50 мм или 6-ти подложек d=100 мм;
* Варьируемая толщина покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон;
* Регулировка высоты расположения мишени относительно магнетрона;
* Масса 400 кг;
* Размеры установки без стойки управления (ДхШхВ) – 1550х1150х1850 мм;
* Размер стойки управления (ДхШхВ) - 600х600х1800 мм.
Опции:

* Прецизионный цифровой регулятор расхода газа;
* Устройство измерения толщины покрытия;
* Квадрупольный масс-спектрометр;
* Мощный источник бесперебойного питания.
При изготовлении установок мы используем комплектующие от ведущих мировых производителей вакуумного оборудования.Производитель: Собственное производство
Длина: 15500 см
Ширина: 11500 см
Высота: 18500 см

<< Кресло

Углевыжигательный комплекс Фантастика 30/3 >>

Еще предложения от пользователя "Безруков Иван Андреевич ЭПОС-Инжиниринг":

Установка EPOS-PVD-440

Установка EPOS-PVD-440 с автоматическим управлением предназначена для нанесения металлических и диэлектрических покрытий методом магнетронного распыления с предварительной ионно-лучевой очисткой и возможностью...

Новосибирск Цена: договорная

Кристаллизаторы

Кристаллизаторы Эксплуатационные качества кристаллизатора, связанные с его конструкцией и изготовлением, оказывают значительное влияние на качество слитков ЭШП. Некоторые из уникальных свойств слитков...

Новосибирск Цена: договорная

Лабораторная вакуумная печь

Установка предназначена для проведения термической обработки металлов и керамик в вакууме. Используется для изменения механических свойств изделий, материалов, деталей с целью улучшения эксплуатационных...

Новосибирск Цена: договорная

Универсальная вакуумная ячейка

Термоэлектрические явления прямого преобразования теплоты в электричество в твердых или жидких проводниках, а также обратные явления прямого нагревания и охлаждения спаев двух проводников проходящим током...

Новосибирск Цена: договорная

Установка по облучению ВУФ образцов в вакууме

Настольная установка предназначена для изучения влияния вакуумного ультрафиолетового излучения на различные материалы, а также для имитации космического излучения. В качестве источников ионизирующего излучения...

Новосибирск Цена: договорная

Установка для термовакуумных испытаний образцов

Установка предназначена для проведения термовакуумных испытаний образцов. Радиоэлектронная аппаратура в процессе разработки и производства подвергается различным испытаниям, которые экспериментально проверяют...

Новосибирск Цена: договорная

Установка вакуумная для напыления покрытий

Установка имеет цилиндрическую камеру, изготовленную из нержавеющей стали диаметром 320 мм, высотой 360 мм. Спереди камеры на шарнире установлена круглая дверь, с проходным диаметром 255 мм. Дверь соединяется...

Новосибирск Цена: договорная

Термовакуумная камера для проведения измерений индикатрис

становка имеет цилиндрическую вакуумную диаметром 300 мм, длиной 400 мм, изготовленную из нержавеющей стали марки AISI 304. Корпус вакуумной камеры охлаждается проточной водой. Для загрузки/выгрузки образцов вакуумная...

Новосибирск Цена: договорная

Установка для работы с электронными высокоэнергетическими пучками

Установка предназначена для работы с электронными высокоэнергетическими пучками. Для генерации сфокусированного электронного пучка здесь используется электронно-лучевая пушка. Назначение: *...

Новосибирск Цена: договорная

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления

Для отработки технологии магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы предлагаем Вам настольную вакуумную установку VSE-PVD-DESK-PRO Отличительные особенности...

Новосибирск Цена: договорная

Другие предложения в категории:

Антенно-мачтовые сооружения, башни и мачты связи

Cпециaлизиpуeмcя на пpоизводстве выcотныx сooружений связи (peшетчaтыe мeтaлличeские констpукции АMC) выcoтой от 20 дo 250 мeтров: - бaшеннoго / мaчтoвoгo...

Новосибирск Цена: 100 000 руб.

Строительство высотным краном башен и мачт связи

Строим высотные сооружения самоподъёмными кранами собственной разработки и производства. Краны применяем для монтажа любых высотных...

Новосибирск Цена: 100 000 руб.

Разработка КМД, проектирование, обследование башен связи, АМС

Разработка чертежей КМД антенно-мачтовых сооружений, башен и мачт связи. Обследование и проектирование инфраструктуры...

Новосибирск Цена: 100 000 руб.

Капролон (полиамид ПА-6) стержни, пластины в ассортименте

Предлагаем капролон (полиамид ПА-6) стержни и пластины в ассортименте. Наличие на складе в г. Новосибирск. Действует система...

Новосибирск Цена: 310 руб.

Фторопласт Ф4 стержни и пластины в ассортименте

Предлагаем стержни и пластины фторопласт Ф4 в наличии со склада в г. Новосибирск. Изготовление деталей из фторопласта, резка по вашим...

Новосибирск Цена: 610 руб.

Электродвигатель 5АН315А4У3

Продам с хранения новый электродвигатель 5АН315А4У3 (2023 г. выпуска), мощность 315 кВт, 1500 об./мин., напряжение 380/660 В. Цена 340 000 руб. с НДС...

Новосибирск Цена: 340 000 руб.

Электродвигатель многоскоростной АО102 12-8-6-4 У2

Продам из наличия новый многоскоростной электродвигатель АО102 12-8-6-4 У2 производства Баранчинского электромеханического завода...

Новосибирск Цена: 1 190 000 руб.

Проволока ОК 16.95

Проволока ОК 16.95 Продам проволоку ОК 16.95 ф 1.2 мм. В наличии проволока ОК 16.95, 308 LSi, OK Aristorod 69, ОК 13.29, ОК 13.22, ОК 13.24, ОК 13.32. Наша компания имеет...

Новосибирск Цена: 12 000 руб.

Электроды LB 52-U

Электроды LB 52-U Продам сварочные электроды LB 52-U ф4 мм, ф3.2 мм, ф 2.6 мм. В наличии сварочные электроды LB 52-U, ОК 53.70, Уони 13/55. Наша компания...

Новосибирск Цена: 360 руб.

Электроды CHN 6625

Электроды CHN 6625 В наличии сварочные электроды CHN 6625. Электроды сварочные CHN 6625, Nibas 625, АНЖР-1, ОК 92.45, ОК NiCrMo-3. Наша компания имеет...

Новосибирск Цена: 1 800 руб.

Контакты

Безруков Иван Андреевич ЭПОС-Инжиниринг

+73833325739

Новосибирск

Новосибирск
+73833325739
https://epos-nsk.promportal.su

epos-nsk.promportal.su

Написать автору

Разместить на других досках
Активировать премиум, бесплатно