|
Дата: 23.07.2024 г. - Цена: договорная В настоящее время вакуумные камеры широко используются как самостоятельно, так и в составе самых разнообразных по величине и сложности систем.
Большинство современных вакуумных технологий предъявляет повышенные требования к качеству изготовления и конструкции этих изделий.
Наши специалисты имеют уникальный опыт, связанный со всем циклом создания вакуумных камер: от погружения в технологию заказчика, составления и согласования ТЗ, максимально соответствующего задаче, до пошагового планирования и реализации всех этапов получения готового изделия.
Рассмотрим несколько основных вариантов камер, которые мы готовы выполнять на заказ.
1. Камеры большого объёма (> 1000л), как правило, используются для:
* термовакуумных испытаний
* установок термоядерного синтеза
* нанесения покрытий на массивные изделия и образцы
* для процессов обеззараживания
* проведения вакуумной обработки сложных конструкций с наличием отверстий и прорезей
* вакуумной сушки
* азотирования
Обычно рассчитаны на средний вакуум 10 -3 – 10 -6 торр.
По форме могут быть цилиндрическими, прямоугольными, кубическими. Имеют преимущественно горизонтальную ориентацию.
Для камер большого объёма мы используем различные подходы при конструировании. Например, в условиях производства полезное пространство сохраняют прямоугольные камеры. Успешно работают вакуумные камеры нашего производства с характерными размерами 1,5-2 метра. При этом давление атмосферы на поверхность стенки достигает 20 тонн. Применение ребер жесткости и компьютерного моделирования позволяет существенно сократить вес и металлоемкость прямоугольной вакуумной камеры.
Высококачественные вакуумные сварные швы могут выполняться как в ручном, так и в автоматизированном режимах. Финишная обработка внутренней поверхности важна для получения необходимого вакуума и сочетает в себе шлифовку и электрохимполировку. Наружная поверхность обрабатывается в декоративных целях, может быть матовой или блестящей, электрохимполированной.
2. Средние камеры (от 100 до 1000л) – наиболее распространённый тип камер.
Применяется для исследовательских экспериментов, испытаний в условиях имитации космоса, для различного типа процессов осаждения, травления, имплантации, МЛЭ, высокочистого синтеза и беспримесных технологий, вакуумных печей, установок азотирования, в качестве транспортных модулей кластерных установок и др.
Данный тип камер рассчитан для условий от низкого до сверхвысокого 10 -11 вакуума.
Геометрия может быть самой разнообразной, от сферической до прямоугольной, иметь сложные формы (вытянутую, в виде колпака, с «коленами»). Камера может оснащаться водяным охлаждением, азотными криопанелями, экранами, нагревателями, окнами, вводами и др.
При проектировании вакуумной камеры важно заранее определиться с требованиями по дополнительной оснастке будущей вакуумной системы, предусмотреть все необходимые элементы – фланцы откачки, измерительной аппаратуры, устройства перемещения. Необходимый критерий в выборе габаритов и конструкции камеры – удобство загрузки подложек, испаряемых веществ или чистки камеры.
3. Малогабаритные вакуумные камеры (1-100 л) – могут быть рассчитаны на давление от 100 до 10 -11 торр. Несмотря на размер, обеспечивают простор для размещения нескольких небольших образцов или одного среднего.
Герметичные сварочные швы выполняются внутри камеры, что снижает количество «пазух», заполненных воздухом. В сочетании с небольшими габаритами и площадью поверхности стенок можно использовать вакуумные насосы небольшой производительности. Такие насосы, как правило, малошумны и подключаются к стандартной офисной розетке.
В вакуумных камерах этого типа толщина стенок и фланцев минимальны. Это обусловливает их малый вес, что позволяет применять их для настольных вакуумных установок. Они могут использоваться для лабораторных исследований, отработки технологий, очистки поверхности образцов и др. Широко используются в качестве учебного оборудования для обучения студентов основам вакуумной техники, физике плазмы, газового разряда, основам полупроводниковых технологий. Есть возможность использовать камеры небольших объёмов в качестве переходного (шлюзового) узла в составе больших установок.
Материалом, из которого мы изготавливаем камеры, является высококачественная нержавеющая сталь AISI 304, 316L. Возможны варианты изготовления из алюминия, титана, меди, кварцевого либо боросиликатного стекла.Производитель: Собственное производство
|
