|
25.06.2021 - Цена: договорная Торговый дом LEHT.RU предлагает к продаже оборудование: Вакуумный пост ВН-3000
Технические характеристики
Область применения
Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.
Конструктивные особенности
Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.
В электрической стойке расположены: — блок распределительный;
блок питания высоковольтный
блок питания магнетрона RF
блок питания магнетрона DC
блок управления
блок питания турбомолекулярного насоса; — ноутбук
В аналитической стойке расположены
вакуумная система
рабочий объем
внутри камерная оснастка
турбомолекулярный насос
система напуска газа в рабочий объем
система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ
Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора.
В рабочий объем устанавливаются следующие устройства
механизм поворота
осветитель
устройство ионного травления/очистки (анод)
устройство осаждения и нагрева
электронно-лучевой испаритель
магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт)
Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.
Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па
2х10^-3
Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C
300
Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин
30
Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин
5-15
Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ
0-4
Максимальный ток пучка, мА
200
Максимальный ток блока питания накала катода, А
20
Мощность блока питания магнетрона RF, Вт
0-500
Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ
1,2
Ток блока питания магнетрона DC, мА
0-1000
Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА
100
Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па
6х10-3
Время откачки рабочего давления, мин
45
Индикация давления в рабочем объеме, Па
от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4
Диаметр мишени, мм
42-104
Габариты стойки аналитической, мм
900х610х1620
Габариты стойки электрической, мм
600х600х2160
Масса, кг
420
Сертификат и паспорт
Запросы на сертификат и/или паспорт, описание и/или дополнительную техническую и справочную информацию на просим направлять на электронную почту info@leht.ru
Комплект поставки
Вакуумный пост ВН-3000
Паспорт изделия
Сертификат на или отказное письмо
Накладная на отгрузку
Счет-фактура
|
