|
19.10.2022 - Цена: договорная НВГМ-2-1, НВГМ-5-1.
Сверхвысоковакуумные геттерные магниторазрядные насосы
Предназначены для получения и поддержания безмасляного высокого и сверхвысоковакуумного (10-9 Па) при откачке активных, в том числе агрессивных (мышьяк, аммиак, хлор и т.п.) и инертных газов в различных технологических установок (молекулярно-лучевой эпитаксии, в установках анализа состава и структур материала).
Превосходят по характеристикам аналогичные насосы «Норд» НМД-0,4; НМДИ-0,4;
и НМД-1; НМДИ-1
Состоят из магниторазрядных модулей и резистивных испарителей геттерного материала, окруженным экраном.
Комплектуются блоками питания магниторазрядных модулей (напряжение холостого хода минус 7000В, ток короткого замыкания 0,8А – используется один или два блока) и резистивных испарителей геттерного материала (напряжение 10В, ток до 65А).
Технические характеристики:
_______________________________________НВГМ-2-1________НВГМ-5-1
Предельное остаточное давление, Па_______1*10(-9)__________1*10(-9)
Наибольшее давление запуска, Па 13
Быстрота действия при откачке:
- воздуха, л/с____________________________2500_____________5200
- аргона ________________________________100______________400
Для магниторазрядных модулей л/с _________500______________800
Диапазон рабочих давлений, Па_от 5*10(-9) до 10(-3)
Диаметр отверстия
присоединительного фланца, мм___________250_______________400
Число присоединительных фланцев_________2_________________2
Габаритные размеры, мм:
- Диаметр_______________________________503_______________770
- Высота________________________________552_______________580
Масса, кг_______________________________130_______________268
|
