Микроскопическая система Olympus MX63

Микроскопическая система Olympus MX63 предоставляет высокое качество изображений при исследовании полупроводниковых пластин до 300 мм, плоскопанельных дисплеев, печатных плат и прочих больших выборок. Это эргономичный и простой в эксплуатации микроскоп, имеющий модульную конструкцию, что позволяет достичь оптимальных условий исследования для различных применений.

Функциональность
Усовершенствованные инструменты анализа.
Различные функциональные возможности оборудования серии MX63 предоставляют четкие, резкие изображения, с помощью которых пользователь может надежно определить дефекты своих образцов. Новые технологии освещения и опции визуализации обеспечивают пользователю больше инструментов для оценки образцов и регистрации обнаруженных несоответствий.

Невидимое становится видимым: наблюдение и сбор данных с помощью функции MIX.
Технология наблюдения MIX позволяет получить уникальные изображения микроскопии путем комбинации метода темного поля и других методов (светлое поле, флуоресценция или поляризация). Наблюдение в режиме MIX обеспечивает пользователю возможность обнаружить дефекты, которые сложны для определения с помощью обычного микроскопа. Круговая светодиодная лампа, которая используется для метода темного поля, обладает функцией направленного темного поля – в данный момент времени освещается только один участок. Это снижает ореолообразование вокруг образца и помогает рассмотреть текстуру поверхности.

Усовершенствованная конструкция для обеспечения соответствия нормам чистого помещения.
Оборудование серии MX63 рассчитано на эксплуатацию в условиях чистого помещения и оснащено функциями, позволяющими снизить риск заражения и повреждения образцов. Эргономичная конструкция системы обеспечивает комфорт пользователя даже при длительной работе. Olympus MX63 соответствует международным требованиям и стандартам, включая нормы SEMI S2/S8, CE и UL.

Быстрый контроль в условиях чистых помещений.
Оборудование серии MX63 обеспечивает контроль пластин с защитой от загрязнений. Все приводные компоненты заключены в защищенные корпусы; для рамы микроскопа, тубусов, защиты от дыхания и других деталей применяется антистатическая обработка. Скорость вращения и уровень безопасности приводных головок выше, чем у головок с ручным вращением, что снижает время простоя между инспекциями, устраняя необходимость касания пластины оператором и снижая вероятность загрязнения.

Конструкция системы создана для эффективного наблюдения.
Столик XY предназначен для работы в режиме грубой и тонкой обработки благодаря сочетанию встроенной муфты и узлов XY. Строение столика позволяет повысить эффективность наблюдения даже крупных образцов, например, 300-мм пластин. Наклонный тубус с возможностью телескопического удлинения дает оператору возможность расположиться в удобной для работы позе.

Совместимость со всеми размерами пластин.
Система подходит для работы с различными типами держателей пластин 150–200 мм и 200–300 мм и стеклянными пластинами. Если на производстве размер пластины будет изменен, раму микроскопа можно заменить без больших финансовых затрат. В рамках оборудования Olympus MX63 могут использоваться различные типы столиков для крепления пластин с размерами 75, 100, 125 и 150 мм на инспекционной линии.

Простота эксплуатации
Интуитивное управление микроскопом: удобство и простота использования.
Простые элементы управления облегчают конфигурацию и вызов настроек микроскопа.

Быстрая настройка фокуса.
Использование средств вспомогательной фокусировки в оптическом тракте дает возможность легко и правильно настраивать фокус на образцах с низкой контрастностью, таких как полупроводниковые пластины без покрытия. Фокусировка на сетке в фокальной плоскости облегчает настройку фокуса для всего образца.

Менеджер интенсивности света и автоматическое регулирование диафрагмы.
При использовании обычных микроскопов пользователям приходится регулировать интенсивность освещения и диафрагму для каждого наблюдения. Olympus MX63 позволяет оператору настроить интенсивность освещения и характеристики диафрагмы при оптическом увеличении и изменении метода наблюдения. Эти настройки легко восстановить, что экономит время и повышает качество изображения.

Эргономичные элементы управления для удобства работы.
Элементы управления для замены объектива и настройки диафрагмы расположены в нижней передней части микроскопа, что позволяет оператору продолжать наблюдение, не отпуская ручку фокусировки и не отводя глаз от окуляров.

Совершенная оптика и цифровые технологии для высокоточного контроля
Компания Olympus, специализирующаяся в области разработки высококачественных оптических приборов и современных цифровых технологий получения изображений, гарантирует исключительное качество производимых оптических элементов и высокую точность измерения.

Исключительные оптические характеристики, контроль аберрации волнового фронта.
Оптические характеристики объективов напрямую влияют на качество изображения и результаты анализа. Объективы Olympus UIS2 с большим коэффициентом увеличения минимизируют аберрации волнового фронта, обеспечивая надежность результатов исследования.

Ровная цветовая температура: белая светодиодная подсветка высокой интенсивности.
Olympus MX63 использует белую LED-подсветку высокой интенсивности для отраженного и проходящего света. LED обеспечивает ровную цветовую температуру, независимо от интенсивности, для достижения высокого качества изображения и точной передачи цвета. LED – эффективная и долговечная подсветка, которая идеально подходит для области материаловедения.

Применение
Микроскопия отраженного света применяется в самых разных отраслях промышленности. Представляем лишь несколько примеров результатов, которых можно добиться при использовании различных методов наблюдения.

Дифференциальная интерференционно-контрастная методика (DIC) характеризуется тем, что высота образца, которая как правило не отражается при исследовании светлого поля, доступна для наблюдения как рельеф, аналогично трехмерному изображению с повышенной контрастностью. Такая технология идеально подходит для контроля образцов с очень незначительными различиями по высоте, например, магнитных головок, жестких дисков и отполированных полупроводниковых пластин.