Полировальный станок марки X62 1300B-1

Ⅰ. Предназначение оборудования Данный станок в основном предназначен для двухстороннего полирования высокой точности кремниевой пластины, пластины арсенида галлии, керамической пластины, кварцевого кристалла, оптического стекла и других жестких хрупких материалов. Технические параметры 1.Размер полировального круга: метрический,Ф 1313 мм*Ф757мм*50мм; дюймовый, Ф1317мм*Ф757мм*50мм. 2.Параметры кассеты: метрический, количество зубьев Z=100 , количество модули M=3 ; дюймовый, количество зубьев Z=144 , количество модули DP12. 3.Количество кассеты: 10 шт. 4.Минимальная полировальная толщина: 0.30 мм. 5.Максимальная полировальная толщина: 30 м. 6.Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-60rpm. 7.Приводной электродвигатель верхнего и нижнего полировального круга: 7.5/15kW AC380V 1460rpm. 8.Приводной электродвигатель зубчатого венца: 4 kW AC380V 1420rpm. 9.Приводной электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW AC380V 1410rpm. 10.Источник газа: 0.5-;0.6MPa. 11.Габаритный размер: 2328мм*1608мм*3190мм. 12.Масса оборудования: около 7700 кг. Ⅲ. Показатели точности (1) Точность главной машины 1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.04 мм 2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.015 мм. 3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08мм 4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15мм. (2) Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов ) 1. Однородность: 0.008 мм; 2. Ровность: 0.004 мм; 3. Параллельность: 0.005 мм.Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)

—

Полировальный станок марки X62 1355B2M-5PW

Ⅰ. Предназначение оборудования Данный станок в основном предназначен для двухстороннего высокого точного полирования кремниевой пластины, стекла и жестких и хрупких материалов, размеры которых менее 8 дюймов, также предназначен для двухстороннего полирования кварцевого кристалла, пластины каменья, стекла, керамических пластины и других жестких и хрупких материалов. Главные технические параметры 1. Размер полировального круга:Ф1380мм*Ф433мм*50мм. 2. Параметры кассеты: метрический, Z=170 M=3 а=20°. 3. Минимальная шлифовальная/полировальная толщина: 0.40 мм. 4. Максимальная шлифовальная/полировальная толщина: 30 мм. 5. Максимальный шлифовальный/полировальный диаметр: Ф 410мм. 6. Скорость нижнего круга: 0-60rpm. 7. Главный электродвигатель: 18.5Kw AC380V 1450rpm. 8. Электродвигатель солнечного колеса: 4.0kW AC380 1400rpm. 9. Электродвигатель подъема: 0.55kW AC380 1390rpm. 10. Трёхфазный электрический насос: 1/4HP 70L/min AC380. 11. Габаритный размер: 2700мм*2050мм*2580мм. 12. Масса оборудования: около 6800 кг. Точность главной машины 1. Торцовое биение нижнего круга:не более 0.08мм. 2. Плоскостность верхнего и нижнего круга: не более 0.025мм Способность обработки 1. Несущая способность на единицу: 6 шт/Ф150 мм, 8 шт/Ф125мм; 2. Несущая способность на целый круг:30 шт/Ф150 мм; 40 шт/Ф125 мм.Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)

—

Полировальный станок марки X62 1355B3M-9PT

Предназначение оборудования Данный станок в основном предназначен для двухстороннего точного полирования кремниевой пластины размером менее 6 дюймов, также предназначен для двухстороннего полирования кварцевого кристалла, пластины каменья, стекла, керамических пластины и других жестких и хрупких материалов. Главные технические параметры 1.Размер полировального круга:Ф1380мм*Ф767мм*50мм. 2.Параметры кассеты: Z=162 DP12 а=20°. 3.Количество кассеты: 9 шт. 4.Максимальный полировальный диаметр: Ф300мм. 5.Минимальный полировальный диаметр: 0.50мм. 6.Максимальная полировальная толщина: 30мм. 7.Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-60rpm. 8.Главный электродвигатель: 18.5kW 380V 1450rpm. 9.Электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW 380V 1440rpm. 10.Электродвигатель внутренего зубчатого венца: 5.5kW 380V 1440rpm. 11.Источник газа: 0.5~0.6MPa. 12.Габаритный размер: 2650мм*1920мм*2770мм. 13.Масса оборудования: около 7700 кг. Точность главной машины 1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.08 мм 2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.02 мм. 3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.10мм 4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.18мм. Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов ) 1. Однородность: 0.008 мм; 2. Ровность: 0.004 мм; 3. Параллельность: 0.006 мм.Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)

—

Двухсторонний точный полировальный станок марки X62 1420B4M-5PT-P

Предназначение оборудования Данное оборудование в основном применяется для обработки кремниевой пластины размером 12"и менее 12", также применяется для двухстороннего полирования кремниевого кристалла жесткого диска, керамических пластин и других жестких и хрупких материалов. Технические параметры 1. Размер полировального круга: Ф1420 мм*Ф430мм. 2. Параметры кассеты: количество зубьев Z=105 расстояние зубьев P=15.7. 3. Количество кассеты: 5 шт. 4. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-70rpm 5. Скорость оборотов верхнего полировального круга: 0-60rpm. 6. Скорость оборотов крайнего зубчатого колеса: 0-26rpm. 7. Скорость оборотов солнечного колеса: 0-26rpm. 8. Точность контроля скорости: ±0.1rpm. 9. Температура большого круга: 20-45 градусов;. 10. Точность контроля температуры большого круга: ±1 градус;. 11. Поток полировальной жидкости: 0-10L/min; контрольная точность ±0.1 L/min;. 12. Ход верхнего полировального круга: 450 мм. 13. После обработки кремниевая пластина GBIR: (до полировки GBIR＜2μm, количество для удаления составляет 10-40μm) ≤0.6μm. 14. После обработки кремниевая пластина SFQR（cell size25*25）PUA95% (большой) ≤0.07μm（EE=2мм）. 15. Загрязнение металла в поверхности: ≤1.00E+10at./cm2. 16. Среднее рабочее время без неисправностей оборудования（uptime）：≥90%. 17. Среднее рабочее время без неисправностей (MTBF): ＞1200 часов. 18. Среднее время для ремонта оборудования （MTTR）: ＜4 часа. Можно удовлетворить техническим требованиям двухстороннего полирования кремниевой пластины размером 300 мм для интегральной схемы 90-65nm.Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)

—

Полировальный станок марки X62 1456B3M-5PT

Предназначение оборудования Данный станок в основном предназначен для двухстороннего точного полирования кремниевой пластины размером 8〃, так же предназначен для двухстороннего полирования кварцевого кристалла, пластины каменья, стекла, керамических пластины и других жестких и хрупких материалов. Главные технические параметры 1. Размер полировального круга: φ1486мм×φ458мм×50мм. 2. Параметры кассеты: Z=138 M=4 α=20°. 3. Количество кассеты: 5 шт. 4. Максимальный полировальный диаметр: φ470мм. 5. Минимальная полированная толщина: 0.40мм. 6. Максимальная полированная толщина: 30 мм. 7. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-60rpm . 8. Главный электродвигатель: 18.5kW AC380V 1450rpm. 9. Электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW AC380V 1440rpm. 10. Электродвигатель внутренего зубчатого венца: 5.5kW AC380V 1440rpm. 11. Источник газа: 0.5~0.6MPa. 12. Габаритный размер: 2700мм×2050мм×2780мм . 13. Масса оборудования: около 8000 кг. Точность главной машины 1. Торцовое биение нижнего полировального круга: 0.08 мм. 2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.02 мм. Способность обработки 1. Несущая способность на единицу: 6 шт/Ф150 мм; 8 шт/Ф125 мм; 2. Несущая способность на целый круг: 30 шт/Φ150 мм, 40 шт/Ф125 мм..Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)

—

Полировальный станок марки X62 930B2M-9PT

Предназначение оборудования Данный станок в основном применяется для двухстороннего полирования и обработки высокой точности на полупроводники химического соединения (арсенид калия, ниобиевая кислота лития, ниобевая кислота тантала и другие), монокристалл кремния, оптические стекла и электрические материалы, также предназначен для двухстороннего точного полирования и точной обработки плоскопараллельных материалов размером менее 4" (Ф100мм) и других различных материалов с одинаковым размером. Основные параметры оборудования 1. Размер верхнего и нижнего полировального круга: Ф 933мм*Ф515мм*50мм. 2. Параметры кассеты: дюймовый, Z=108 DP12 а=20°. 3. Минимальная толщина полирования: 0.2 мм. 4. Максимальное количество для монтажа кассеты: 9 шт. 5. полировальный диаметр и несущая способность:Ф75 мм/4 шт Ф100 мм/2 шт. 6. Максимальный полировальный диаметр: Ф180мм. 7. Скорость оборотов нижнего круга: 0-60rpm. 8. Давление источника газа: 0.5-0.6MPa. 9. Главный электродвигатель:7.5kW AC380 1460rpm 10. Электродвигатель солнечного колеса: 1.5 kW AC380 1400rpm. 11. Габаритный размер: 1200мм*1600мм*2700мм. 12. Масса оборудования: около 3000 кг. Общее техническое требование к оборудованию: 1.Плоскостность нижнего круга менее 0.02 мм. 2.Торцовое биение нижнего круга менее 0.06 мм.Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)

—